μονάδα αντλίας κενού με βίδα Roots για την κατασκευή ημιαγωγών

Η μονάδα αντλίας κενού τύπου Roots συνδυάζει τα πλεονεκτήματα των αντλιών Roots και των αντλιών τύπου βίδας, προσφέροντας μια καθαρή, αποδοτική και χωρίς λάδι λύση κενού για απαιτητικές βιομηχανικές και εργαστηριακές εφαρμογές. Με σχεδιασμό στεγανοποίησης με διάκενο και χωρίς λιπαντικό λάδι, αυτές οι αντλίες διατηρούν υψηλή καθαρότητα και εξαιρετική απόδοση καθ’ όλη τη διάρκεια της λειτουργίας τους.

Αρχή λειτουργίας της μονάδας αντλίας κενού τύπου Roots

• Βιδωτή αντλία κενού (προ-στάδιο):Λειτουργεί ως αντλία προ-σταδίου, παρέχοντας υψηλούς ρυθμούς άντλησης και χαμηλή πίεση εξαγωγής. Η μηχανική συμπίεση μέσω ακριβών διακένων βιδών εξασφαλίζει αποδοτική λειτουργία με χαμηλό θόρυβο και χαμηλές δονήσεις.
• Αντλία κενού Roots (κύρια/ενδιάμεση):Οι δύο ρότορες που περιστρέφονται συγχρονισμένα μεταφέρουν τα καυσαέρια από τον θάλαμο αναρρόφησης στον θάλαμο εξαγωγής. Η στεγανοποίηση διακένων αποτρέπει τη μόλυνση από λάδι, διατηρώντας ένα καθαρό περιβάλλον κενού.
• Σειριακή λειτουργία:Και οι δύο αντλίες λειτουργούν σε σειρά, με την αντλία βιδών να ενισχύει το επίπεδο κενού και την αντλία Roots να εξασφαλίζει σταθερή, συνεχή απόδοση άντλησης.

Πλεονεκτήματα απόδοσης

1. Εξοικονόμηση ενέργειας:Η βελτιστοποιημένη αναλογία ταχύτητας άντλησης και βαθμού κενού μειώνει την κατανάλωση ενέργειας, ξεπερνώντας τα παραδοσιακά συστήματα κενού σε ενεργειακή απόδοση.
2. Υψηλή απόδοση:Επιτυγχάνει απόδοση άντλησης άνω του 90%, παρέχοντας υψηλά επίπεδα κενού με χαμηλή κατανάλωση ενέργειας για διάφορες διεργασίες.
3. Προστασία ασφάλειας:Το προηγμένο σύστημα ελέγχου με αυτόματη εκκίνηση/διακοπή, προστασία από υπερφόρτωση, υπερβολικό ρεύμα και διακοπή νερού εξασφαλίζει μακροπρόθεσμη σταθερότητα.
4. Συμπαγής σχεδιασμός:Η κάθετη στοίβαξη ή η δομή σκάλας ελαχιστοποιεί το αποτύπωμα, ιδανικό για εργοστάσια και εργαστήρια με περιορισμένο χώρο.
5. Ευέλικτη διαμόρφωση:Ρυθμιζόμενη αναλογία ταχύτητας άντλησης μεταξύ των αντλιών (1:2 έως 1:8) για προσαρμογή σε διαφορετικές απαιτήσεις εργασίας.
6. Αντιδιαβρωτική απόδοση:Οι επιφάνειες υπερχείλισης είναι επεξεργασμένες ή κατασκευασμένες από ανθεκτικά στη διάβρωση υλικά, κατάλληλα για την εξαγωγή διαβρωτικών αερίων και τη λειτουργία σε σκληρές συνθήκες.

Πεδία εφαρμογής

• Χημική βιομηχανία:Εξαγωγή πτητικών οργανικών διαλυτών, αερίων και χρήση σε αντιδραστήρες κενού — ευρέως χρησιμοποιείται σε χημικές και φαρμακευτικές διεργασίες.
• Κατασκευή ημιαγωγών:Υποστηρίζει διαδικασίες εναπόθεσης υπό κενό, καθαρισμού και χάραξης.
• Βιομηχανία τροφίμων:Απαραίτητη για τη συσκευασία τροφίμων, την αφυδάτωση και τις διαδικασίες ξήρανσης υπό κενό.
• Μεταλλουργική βιομηχανία:Εξάγει αέρια σε μεταλλουργικούς κλιβάνους και εργαστήρια για τη σταθεροποίηση των διαδικασιών τήξης.
• Εργαστήρια και επιστημονική έρευνα:Ιδανικό για πειράματα κενού και ανάκτηση αερίων σε επιστημονικά περιβάλλοντα.
• Ηλεκτρονική βιομηχανία:Χρησιμοποιείται στην κατασκευή ολοκληρωμένων κυκλωμάτων, στην επίστρωση κενού οθόνης και σε άλλες διαδικασίες κατασκευής ηλεκτρονικών.